3月20日至22日，2024 SEMICON China半導體行業年度盛會將在上海新國際博覽中心拉開帷幕。以“創‘芯’共贏，智造價值”為主題，自動化技術和技術培訓領域的全球領先企業費斯托(Festo)將亮相并展示適用于半導體行業的前沿技術及創新應用，助力半導體行業設備制造打開新思路，創造“芯”價值。

經歷了過去一年的短暫低迷，2024年全球半導體產業復蘇，中國半導體產業整體有望回歸到中高速增長狀態，優勢資源傾斜和政策扶持，既面臨著彎道超車的發展機遇，同時也亟需系統地突破上下游設備制造瓶頸，基于自動化和數字化技術不斷解決發展痛點。

Festo憑借在新能源汽車行業從電池到整車生產的所有自動化流程、電子和裝配、半導體、太陽能、生物技術和制藥、化工、水處理、食品和包裝行業以及快速發展的醫療技術和實驗室自動化等領域積累的豐富經驗，正通過氣動加電驅動自動化技術的組合拳為中國半導體設備制造業發展賦能。

為客戶實現“量身定制”

Festo大中華區電子及裝配行業銷售總監劉高亮表示， Festo自動化技術應用聚焦在半導體的前道和后道多個工藝段。

其中，在半導體生產前道工藝段，比如在晶圓清洗和打磨等環節，Festo根據客戶的具體需求進行“量身定制”，為了滿足客戶對于安全性、晶圓的厚度、高低溫環境、平穩度、光滑度等嚴格要求，Festo能提供基于氣動或電動控制的整體高效定制化解決方案。

在半導體生產后道，以芯片抓取和移載為例，因為芯片本身十分脆弱，要想在高速位移的情況下穩定抓取，不僅要應對速度問題，還要重點考慮精度問題。Festo面向后道環節有許多標準化產品，包括氣缸、電驅動閥、高速閥等等，在半導體行業都有廣泛的應用，并且在太陽能、3C領域的產品分揀、上下料、包裝等環節都可以復制推廣。

作為第二大本土市場，Festo始終堅持在中國的深度本地化戰略。在成本方面，Festo應用于半導體行業的解決方案采用緊湊經濟型模塊化設計，位于濟南的全球生產中心為成本效益和穩定交付保駕護航。Festo濟南全球生產中心立足中國面向全球，嚴格遵循Festo全球質量管理體系，是Festo集團在全球范圍內自動化程度最高、生產規模最大的工廠。

劉高亮十分看好中國半導體行業的發展，他表示這會是現在以及未來Festo重點關注或投資最大的一個行業。展望未來，Festo將持續發力半導體前道和后道市場?！氨娝苤?，中國擁有全世界最大的半導體市場。隨著新能源、AIoT行業的火熱發展，中國對于半導體芯片產品的需求日益高漲，再加上外部形勢的影響，半導體本土化優勢漸顯，Festo也愿意跟廣大客戶一起為中國半導體行業發展做更多貢獻?！?/p>

行業首創壓電技術大顯身手

半導體行業技術迭代非?？?，對設備自動化技術的需求更是快速更迭、精益求精。為此Festo在中國成立了一個專門的半導體行業團隊，從研發、生產到銷售，充分保障本地創新能力，快速響應中國半導體市場的需求。不斷創新、高效、可靠的自動化解決方案，是Festo立足半導體行業的關鍵能力。

本次SEMICON China展會，Festo將展示行業首創的基于壓電技術的Controlled Pneumatics受控氣動元件Festo 壓電閥島VTEP的廣泛應用。VTEP閥島是受控氣動產品組的重要成員，它基于先進的壓電技術，將比例閥、傳感器和復雜控制算法集成構成一個控制回路，控制精度高、動態性能好、靜音且節能，結構緊湊，適用于小流量氣動自動化場景，可精密控制多達10個通道的氣壓。例如在半導體或光電產業鍍膜的生產線過渡腔室、移載系統、制程腔體的門閥開關控制過程，VTEP閥島的應用可大幅降低門閥開關時所產生的沖擊力，在單一元件中實現對多門閥的控制，借由數位參數集達成高重復精度，易于追蹤，非常適用于工業物聯網。而在拋光機上，針對每個拋光腔體可變的接觸壓力，用受控氣動元件可極為精確地控制，確保優異地拋光效果，晶圓拋光也不在話下。閥島 VTEP 還可用作過程自動化中的介質閥的先導閥。例如在光刻中，必須用抗光層非常精確地密封晶圓，通過回吸功能確保不會有多余的涂料溢出。此外，使用VTEP閥島的正負壓控制，可以實現很多應用，例如膜片鉗細胞檢測，根據不同的應用配方對測試和分析需要的顏料、粘合劑或液體進行非常精確地分配。

壓電技術不僅開創了全新的氣動應用領域，還可以讓傳統氣動生產變得更為高效，實現小體積、低能耗、高效率、高精度并快速地達到設定值。

開創閥島新紀元

Festo全新一代氣電融合自動化控制平臺VTUX閥島將在本次SEMICON China展會首次亮相，它標志著閥島新紀元的開端，也代表著閥島未來趨勢。

VTUX閥島采用高性能輕量化材料與創新結構設計，適應各種智能制造場景，例如輕量化布局于門架或機械臂末端，節省機器內空間，加快循環時間提高生產率，適配各種集中式與分散式混合拓撲架構的機器方案等等?？膳渲肍esto創新AP通信技術功能，可確保極高的性價比優勢，兼具簡單與高度靈活模塊化，極致緊湊與大流量，兼容各種多針或總線通信環境，各種電氣控制功能(例如遠程I/O信號、IO-Link主站通訊)與氣動控制功能(例如電磁閥、真空發生器、比例閥)等等。歡迎親臨展會現場一睹真容。

此外，本次展會Festo還將展示適用于各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治的半導體晶片先進制程的N2 Purge 氮氣吹掃系統，晶圓頂針升降控制方案，以及應用于半導體晶圓濕式清洗工藝的氣缸同步控制方案等等。

歡迎蒞臨上海新國際博覽中心E7館E7816號展臺現場參觀交流!或掃描文末的二維碼登入Festo在線展廳，身臨其境輕松觀展。

Festo大中華區總部(上海)

（資料來源：費斯托官網）